"ФОРМИРОВАНИЕ СЛОЁВ СИЛИЦИДОВ ПЛАТИНЫ ДЛЯ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫХ ДИОДОВ ШОТТКИ"
Научный руководитель - Комаров Фадей Фадеевич
Рецензент - Камышан Александр Степанович

Оглавление дипломной работы
Введение
1. Особенности формирования и возможные варианты использования силицидов
1.1 Возможные варианты использования силицидов платины
1.1.1 ИК-датчики
1.1.2 Силовые диоды
1.2 Особенности рынка силовых диодов Шоттки
1.3 Методы формирования силицидов
1.4 Общие закономерности формирования силицидов
1.4.1 Особенности формирования силицидов платины
1.4.2 Особенности формирования силицидов никеля
1.4.3 Особенности формирования силицидов ванадия
2. Методы анализа
2.1 Метод Резерфордовского обратного рассеяния
2.1.1 Кинематика обратного рассеяния
2.1.2 Сечение рассеяния
2.1.3 Моделирование спектров РОР для систем силицид платины/кремний
2.2 Дифракционные методы анализа образца
2.3 Методы измерения удельного сопротивления
2.3.1 Четырёхзондовый метод измерения удельного сопротивления
2.3.2 Метод Ван-дер-Пау
3. Экспериментальные данные и их обсуждение
3.1. Плёнка платины на кремнии
3.2 Многокомпонентная плёнка на поверхности кремния
Заключение
Список литературы

При желании ознакомления с дипломной работой пришлите запрос и обоснование на мой ящик

Работа была отмечена членами комиссии (в частности Пилипенко В.А.) на защите за практическую напраленность и актуальность

последнее обновление: 30.11.08
© 2008, все авторские права защищены